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1、常用非接觸測(cè)厚儀主要為激光測(cè)厚儀和電渦流測(cè)厚儀 ，顧名思義就是測(cè)量?jī)x器與被測(cè)物體非接觸測(cè)量 。
2、接觸式測(cè)厚儀要為機(jī)械式測(cè)量的需要通過(guò)點(diǎn)與點(diǎn)之間，或面與面后通過(guò)位移差來(lái)測(cè)量厚度。
薄膜、薄片厚度測(cè)試又該如何去選擇？
1、非接觸式測(cè)厚設(shè)備對(duì)測(cè)試試樣都有一定的選擇性，例如激光式測(cè)厚儀在適合的領(lǐng)域中能達(dá)到較高的測(cè)量精度，但用于檢測(cè)表面有著不同光澤度的試樣時(shí)會(huì)有較大的測(cè)試誤差，同樣該方法的測(cè)厚儀對(duì)試樣是否透明以及材料表面平整度（薄膜表面看似平整，放大后都是呈現(xiàn)一定凹凸）也有著比較強(qiáng)的選擇性。電容或電渦流式的測(cè)厚儀對(duì)金屬及非金屬的測(cè)試有著較大的誤差?？傊?，非接觸式測(cè)厚儀都有著自己擅長(zhǎng)的檢測(cè)領(lǐng)域，在薄膜和金屬方面測(cè)試數(shù)據(jù)還是不能滿足的。
2、機(jī)械式測(cè)厚儀是一種接觸式測(cè)厚設(shè)備，多采用高精度傳感器，因?yàn)樗臏y(cè)試只和微小位移有關(guān)，所以對(duì)試樣沒(méi)有選擇性。按照薄膜厚度國(guó)標(biāo)GB/T6672要求測(cè)量面必須保證對(duì)薄膜材料表面施加0.1N-0.5N負(fù)荷壓力，機(jī)械式測(cè)厚儀的測(cè)試精度主要取決于位移傳感器的精度，環(huán)境溫度和風(fēng)速會(huì)影響傳感器的精度，因此必須在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境內(nèi)使用。
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